微纳加工
利用半导体领域十几年的工艺技术积累,在MEMS传感器、生物芯片、光电子芯片、射频芯片和功率器件等方面拥有大量的设计和工艺经验。依靠成熟的设计和工艺团队,提供全方位的技术和代工服务,提供定制化的设计开发、代工服务、工艺验证和封装测试等系统解决方案。
硅峰半导体作为一家专注于MEMS芯片和分立器件设计和加工的技术公司,拥有丰富的代加工资源。可实现4/6/8英寸0.5um-3um标准的设计和代工,以及多种单步或者多步工艺的完整加工能力。具备成熟的光刻、刻蚀、镀膜、封装、测试等加工能力。所使用设备先进、性能优异、工艺稳定。
公司重视发展自己的特色工艺、特色服务,既为客户提供标准工艺加工,又为客户量身定做工艺。重视发展与中小客户的合作,与广大中小客户一起成长。
加工能力设备:
1. 光刻: SUSS-MA8; Nikon-I7/10/12; DWL-66; Elionix ELS7000; CANON FPA-3030EX6;EVG 620NT;Heidelberg Instruments DWL66+;ZEISS Sigma300;;ZEISS Sigma300;
2. 镀膜: EBX-1000; Denton 550; PICOSUN/SUNALETM R-200; LPCVD; Plasmalabsystem 100; Plasmalabsystem ICP380; Optorun OTFC-900; SAMCO PD220-NL;Beneq TFS 200;TYSTAR Mini-TYTAN4600;SENTECH SI500D;
3. 去胶刻蚀: SPTS-ICP; Oxford Plasmalab System 100 ICP180; Tegal 903E; OXFORD Ionfab 300Plus; VHF; FEL/Helios NanoLab 600i; Plasma:class-1; Alpha Plasma Q235HT;PVA TePla loN 40;OXFORD PlasmaPro 100 Cobra;Scia system mill 150;SPTS Omega LPX Rapier; Memsstar Orbis Alpha HF; Memsstar Orbis Alpha XeF2; SENTECH SI 59
5. 离子注入:Ulvac IMX-3500;Annealsys AS-One150HT
6. 清洗: Warincona;CXS-2150S;AST6I-111;
7. 外延:CETC-48 M86150-3/UM
加工能力设备:
8. 物理气相沉积:Neocera Pioneer 180;Leybold ARES1100;Alliance Concept AC450;Lesker PVD200;Denton E14;Temescal BJD-2000;
9. 电镜:ZEISS GEMINI 300;Thermo Fisher Helios 5 CX
10. 封装: SUSS/SB6 Gen2; Disco-3350; Nilmt; TSV; NV-GSD-HE;DS9200&C81;ESD-6306;AS-5360;Inducer-5680;EVG 510;EVG Gemini FB;ACCURA;PacTech SB²-JET;AMADA SM8500A;F&S 53XXBDA;MOT µGALV-R&D+;SPTS sigma;Plasma cleaner;YLP-HC20;Lecia DM8000M;Dage 4000 Optima;Dage Quadra 7
11. 检测和测试: SU8020; VEECO; AFM;HORIBA/LabRAM HR Ecolution; K-mac;Bruker Dimension Icon;TOHO FLX-2320-R;KLA P7;Thermo Fisher Helios 5 CX;KLA R50-4PP;Accretech AP3000e;V9300;Keithley 4200A-SCS;Keysight B2962B;Anritsu MS4647B;APEX AP2081A;LUNA OVA5113;Atomic force microscope, electron scanning electron microscope, XRD, step meter, ellipsometer, thermogravimetric analyzer, Chip Probe(CP), precision electric probe table, etc






代工服务流程
需求提出
产品构思技术探讨
01
规格确认
设计、讨论、模拟
02
试制
产品试制评估反馈
03
量产准备
量产确认生产计划
04
量产
批量生产
05
致电我们
138 2505 8605
159 8906 6199
我们的电子邮件
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